原生支持 SEMI SECS/GEM 及 GEM300 标准机台通讯协议栈
打通晶圆前道与后道封测的统一数据底盘
J9专注于高精密度硅片加工、第三代半导体功率模块及先进晶圆级封装产线。系统深度融合制造执行 MES、设备自动化 EAP 与质量统计 SPC,满足无尘洁净室严苛的环境控制与连续 365 天无宕机生产运营诉求。
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01高可靠设备通讯接入
支持 SEMI E10、E30 与 GEM300 国际规范,支持千台级机台并发毫秒级状态感知与配方 Recipe 下发。
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02全生命周期 Wafer Tracking
从单片晶圆入库、光刻、刻蚀、薄膜沉积到划片封测,提供全工艺参数追踪与电子履历溯源。
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0399.999% 高可用分布式架构
微服务化架构具备无损热升级与双活灾备机制,彻底杜绝突发停机导致的批次报废风险。
赋能半导体产线六维制造管控能力
围绕晶圆制造复杂工序与严苛质量控制标准,J9提供从投料到成品的闭环数字化管控方案。
单晶圆与批次实时追溯
支持单片 Wafer ID 与 Carrier/FOUP 容器层级关联,毫秒级更新在制品 WIP 流转状态,实时记录各道工序机台、配方与操作员履历。
先进生产计划智能排产
内置 APS 运筹启发式引擎,结合光刻机防滞留时间限制、返工等待时效及炉管批量装炉规则,自动优化产线机台瓶颈。
良率管理与晶圆图谱解析
无缝聚合电性测试 WAT、晶圆探针测试 CP 与成品测试 FT 数据,自动生成多层 Wafer Map 与缺陷空间相关性聚类报告。
设备综合效率 OEE 监控
依据 SEMI E10 准则精细化划分六类设备运行状态,实时捕获非计划停机、微小停滞与清洗保养耗时,大幅压缩机台闲置时间。
全工序 SPC 质量控制闭环
集成 Western Electric 与 Nelson 预警准则,实时采集膜厚、线宽关键参数,出现异常超标自动联动机台联锁拦截投产。
参数配方与防错互锁机制
严密校验光罩掩模版 Reticle、化学品有效期与工序工步序列,杜绝员工误投、机台错载配方导致的大额整批硅片报废损失。
适配晶圆前道制造与后道封测的主力系统
针对不同半导体细分领域与工艺复杂度,J9提供专业成熟的模块化部署组合。
前道晶圆制造 MES
面向百道复杂工艺步序的高洁净度制造环境,提供单晶圆级生命周期管理与黄光区智能排产闭环。
- Carrier 与 Slot 单片卡槽定位
- 光罩 Reticle 仓储与寿命监控
- Q-Time 滞留超时自动报警冻结
- 炉管 Run-to-Run (R2R) 闭环控制
- 原生对接 EAP/RMS/FDC 自动化系统
封装测试制造管理系统
贯通打线、固晶、注塑、切筋成型、测试与编带包装全流程,实现卷盘 Strip/Reel 级精细物料与设备追溯。
- 晶圆划片 Die 级打标与位置关联
- 金线、环氧树脂银胶时效预警控制
- 探针卡与测试机台配对自动防错
- 条码/RFID 自动过站与包装防混装
- 良率 Mapping 实时生成与打标剔除
微电子 CIM 核心协同套件
以轻量化分布式架构整合 MES、WMS、EAM 与 SPC,支撑中小型芯片制造企业快速实现数字化与规范化认证。
- 标准 SEMI 驱动库即插即用集成
- 生产批次 Lot 快速拆并与分选管理
- 关键易耗品与备件寿命自动核销
- 多维综合 OEE 报表自动化导出
- 私有化机房快速投产与平滑割接
微秒级响应的半导体工业物联网底座
基于高内聚低耦合的分布式微服务体系,支撑千万级高并发数据流水线,满足严苛晶圆厂连续运转稳定性要求。
高吞吐设备自动化网关
内置高性能 C++ 核心协议解析器,支持 HSMS/E37 高速网络通讯,单节点可稳定挂载 800+ 机台并达成微秒级指令下发。
分布式时序数据管道
整合高可用消息队列与时序数据库,对机台真空度、射频功率、温度传感数据实施纳秒级时序归档与实时偏移告警。
异地双活与无感热升级
基于容器化编排实现节点平滑灰度割接,系统升级无需产线停机,保障年可用率达标 99.999% 的半导体工业级承诺。
开放式工业协议互联
提供 RESTful、gRPC 与 OPC-UA 工业标准接口,无缝与 ERP、PLM、SCADA 及三方测试系统开展数据低延迟互通。
全面贯通不同工艺规格的制造执行场景
J9适配不同物理形态、工艺步长与洁净级别的多类型芯片产线运营。
12 英寸超净前道晶圆制造
针对光刻机超高排程要求、多腔体机台自动分配与 Q-Time 晶圆防氧化时效拦截,提供全自动天车搬送 (AMHS) 闭环控制。
高密度封装与系统级 SiP
支持金丝球焊、倒装芯片、晶圆级植球与高精度固晶工艺,完成材料保质期校验与测试良品快速分 bin 归档。
第三代半导体分立器件
专为碳化硅 SiC、氮化镓 GaN 衬底外延与功率模组定制,强化高压漏电测试、静态参数分类与成品可靠性追踪。
头部晶圆制造企业数字化转型效益实录
真实产线生产执行系统重构,以量化数据检验数字化系统在提质、降本与保供方面的核心成果。
全天候产线运行守护与驻场服务机制
半导体生产线 24 小时连续运行,J9设立高规格梯次支持与运维巡检计划。
工艺配方与排产动态优化
资深现场实施工程师常驻主控室,协助产线调校机台配方联动规则、新产品投产试制建模及排程算法微调。
微秒级通讯流与数据库值守
自动化机房专人监控,保障 SECS/GEM 设备握手通讯稳定,执行夜间数据归档与高频生产负载动态均衡分配。
产线设备停机维护与升级校验
针对定期检修机台提供 E10 状态挂牌联动、易耗备件换新核销与离线虚拟联调,保障周一投产平滑有序。
兼具晶圆工艺知识与工业软件研发底蕴的专家团队
核心顾问均具备 15 年以上国际与本土顶级半导体代工厂产线 MES/CIM 架构规划与交付履历。
黄明哲
前知名晶圆代工厂自动化部主任,主持过三座 12 英寸前道洁净厂房 MES 与 EAP 系统完整上线,专精 SEMI 工业规范。
陆文华
曾任顶级功率半导体 IDM 厂品质总监,深耕 CP/FT 测试数据挖掘、缺陷空间分布建模与先进制程工艺 SPC 统计分析。
陈思远
主导过数十条先进封装产线 Strip 级物料追溯与智能排产系统实施,在非标机台通讯协议适配领域拥有丰富实战经验。
来自产线厂长、工艺工程师与 IT 总监的信赖
倾听制造一线管理者在投产使用J9后的实际效益评价。
“面对老产线上十几种年代跨度长达 20 年的非标机台,J9的网关插件表现出极高兼容性,不用更换机台控制板卡就实现了全自动配方校验与状态上报。”
“最令人惊喜的是 SPC 与机台联锁的响应速度。一旦测厚数据偏离控制上限,系统在下一批进炉前瞬间锁止了机台,避免了一整炉价值百万元晶圆出现不可逆报废。”
“以前每天光是汇总各工序良率和产出报表就要耗费两个小时,现在系统自动推送到移动看板,所有良率异常与工艺卡控点一目了然,晨会决策效率提升非常显著。”
J9版本演进与行业技术动态
紧跟半导体制造产业智能化革新节奏,持续沉淀前道与后道工艺数字化治理方案。
12 英寸先进制程晶圆厂 CIM 系统的全自动化闭环演进
剖析机台自动搬送系统 AMHS 与制造执行系统 MES 的微秒级指令协同,探讨如何在高密度黄光区降低在制品损耗与污染风险。
获取深度解析报告 →
SiC/GaN 宽禁带半导体产线良率管理的数字化实践
针对碳化硅晶体缺陷检测、外延片均匀性及高温退火工艺,通过实时 SPC 算法对关键参数漂移进行即时预警与参数补偿。
获取深度解析报告 →
面向 Chiplet 与先进封装的多级颗粒度溯源架构发布
新版本J9完成对高密度异构集成工艺的全面支持,实现单 Die、基板 Substrate 及载具条码的三维联动管理。
获取深度解析报告 →自研新一代J9 VS 传统老旧工业系统
从底层通讯性能、晶圆级细粒度追溯能力到实施迁移成本,全面展现现代化架构的技术领先性。
| 对比功能维度 | 新一代J9(本平台) | 传统通用老旧工业 MES 系统 |
|---|---|---|
| 半导体行业专属标准 | 原生支持 SEMI E10/E30/GEM300 规范,提供晶圆级 Wafer Map、Carrier 槽位管理 | 通用离散制造系统改版,缺乏对单晶圆卡槽与光罩管理的专业模型支持 |
| 设备协议通讯吞吐 | 自研高并发微秒级 HSMS 驱动网关,单机支持 800+ 机台实时高频交互 | 依赖第三方转接工控机或通用 PLC 驱动,通讯延迟长,易发生数据丢失 |
| 高可用性与系统升级 | 分布式容器化双活架构,支持无感热升级,达标 99.999% 高可用运行 | 单体巨石架构,升级通常需全产线停机 8-24 小时,运维风险与成本极高 |
| 智能排产与高级算法 | 内置针对 Q-Time 停留限制与炉管装载约束的半导体专属启发式 APS 引擎 | 仅具备基础工单甘特图排定,无法识别晶圆制造复杂的黄光区瓶颈工序 |
| 二次开发与扩展定制 | 微服务解耦,开放百项标准 API 接口,工艺工程师可低代码调整工作流 | 老旧私有封闭架构,每次工艺路线调整均需原厂高昂二开费用与漫长周期 |
J9部署与迁移常见问题
针对晶圆厂与封测产线在系统割接、旧设备兼容以及私有化数据安全等关键异议提供严密方案。
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